在嗮國(guó)內(nèi)7家光刻膠企業(yè)成績(jī)單前先看一則阿斯邁爾光刻機(jī)動(dòng)態(tài)：

ASML 準(zhǔn)備交付第一臺(tái)高 NA 極紫外光刻機(jī)

ASML 計(jì)劃在今年內(nèi)交付第一臺(tái) 數(shù)值孔徑（NA）的極紫外（EUV）光刻機(jī)。這臺(tái)光刻機(jī)主要用于開發(fā)目的，幫助客戶熟悉新技術(shù)和功能。高 NA 極紫外光刻機(jī)商業(yè)使用預(yù)計(jì)要到 2025 年之后。數(shù)值孔徑（NA）用以衡量光學(xué)系統(tǒng)能夠收集的光的角度范圍，它描述了物鏡收光錐角的大小，而后者決定了顯微鏡收光能力和空間分辨率。 NA 對(duì)應(yīng)的光刻分辨率 8nm。ASML 沒有披露首位高 NA 極紫外光刻機(jī)的客戶名字，但推測(cè)就是英特爾。英特爾此前透露它的 18A 工藝節(jié)點(diǎn)將使用高 NA 光刻機(jī)，由于時(shí)間表提前而采用其它方案，但它可能會(huì)在 18A 工藝節(jié)點(diǎn)的后期使用高 NA EUV 光刻機(jī)。這些光刻機(jī)價(jià)格不菲，預(yù)計(jì)超過 3 億美元，將進(jìn)一步加大先進(jìn)晶圓廠的制造成本。

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N次多重曝光技術(shù)帶來的工藝耗材增量

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7家光刻膠企業(yè)上半年成績(jī)單：多家企業(yè)光刻膠新品進(jìn)入驗(yàn)證階段

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，2019-2022年中國(guó)大陸半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)規(guī)模保持良好的增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。2022年消費(fèi)領(lǐng)域的芯片受到供應(yīng)鏈危機(jī)緩解及庫存消化的影響，產(chǎn)能利用率下降。反觀8寸及12寸硅晶圓因汽車、工業(yè)、物聯(lián)網(wǎng)以及5G建設(shè)的驅(qū)動(dòng)而呈現(xiàn)需求上升的局面。根據(jù)勢(shì)銀（TrendBank）調(diào)研統(tǒng)計(jì)分析，2023年中國(guó)大陸半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)達(dá)到億元，同比增長(zhǎng)%，增速將有所放緩。

圖：2019-2023年中國(guó)大陸半導(dǎo)體用光刻膠市場(chǎng)規(guī)模（億元）

來源：勢(shì)銀《光刻膠及原料產(chǎn)業(yè)最近進(jìn)展與趨勢(shì)》報(bào)告

在顯示領(lǐng)域，2022年中國(guó)大陸面板市場(chǎng)低迷。受此影響，2022年顯示用光刻膠市場(chǎng)規(guī)模有所下滑，整體市場(chǎng)情況將在2023年獲得改善。根據(jù)勢(shì)銀（TrendBank）統(tǒng)計(jì)預(yù)測(cè)分析，2023年中國(guó)大陸顯示用光刻膠市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到億元，同比增長(zhǎng)%。

圖：2019-2023年中國(guó)大陸顯示用光刻膠市場(chǎng)規(guī)模（億元）

來源：勢(shì)銀《光刻膠及原料產(chǎn)業(yè)最近進(jìn)展與趨勢(shì)》報(bào)告

目前，國(guó)內(nèi)光刻膠企業(yè)正加快光刻膠產(chǎn)品的研發(fā)驗(yàn)證導(dǎo)入步伐。截止8月底，7家涉及光刻膠板塊的上市企業(yè)都已發(fā)布半年報(bào)，業(yè)績(jī)情況如下——

整理上述7家企業(yè)半年報(bào)信息，一文了解各廠商具體進(jìn)展。

受半導(dǎo)體市場(chǎng)下降影響，2023年上半年半導(dǎo)體光刻膠實(shí)現(xiàn)銷售收入8258萬元，得益于膠成熟產(chǎn)品的持續(xù)放量以及新產(chǎn)品的增加，KrF光刻膠依然保持著較快的增速達(dá)到%。I線光刻膠方面，ICA光刻膠開始放量，增長(zhǎng)率達(dá)到%。

2023年上半年，北旭電子實(shí)現(xiàn)銷售收入億元，同比下降%；面板光刻膠產(chǎn)品銷量同比增長(zhǎng)%，國(guó)內(nèi)市占率約為%。報(bào)告期內(nèi)，公司的一款4-Mask高感度光刻膠新品出貨持續(xù)增加中。針對(duì)AMOLED面板客戶開發(fā)的高性能的高分辨率光刻膠分辨率達(dá)到μm、μm，已在客戶完成階段性批量驗(yàn)證。同時(shí)，有機(jī)膜產(chǎn)品、高耐熱光刻膠、低溫光刻膠也在研發(fā)和客戶測(cè)試中。

在樹脂產(chǎn)品上，上半年液晶面板Array half-tone光刻膠酚醛樹脂量產(chǎn)成功；高分辨率光刻膠酚醛樹脂進(jìn)入量產(chǎn)產(chǎn)品已經(jīng)在液晶面板產(chǎn)線測(cè)試；OLED光刻膠酚醛樹脂進(jìn)入開發(fā)階段；多個(gè)G/I線酚醛樹脂處于中試/大試階段；先進(jìn)I線光刻膠酚醛樹脂、lift off負(fù)膠酚醛樹脂研發(fā)取得階段性進(jìn)展。

在項(xiàng)目建設(shè)上，報(bào)告期內(nèi)年產(chǎn)萬噸半導(dǎo)體、平板顯示用光刻膠及2萬噸相關(guān)配套試劑項(xiàng)目也已經(jīng)部分建設(shè)完成。

報(bào)告期內(nèi)，瑞紅蘇州實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入11,萬元，同比減少%；實(shí)現(xiàn)歸屬于掛牌公司股東的凈利潤(rùn)1,萬元，同比減少%。

瑞紅蘇州表示，凈利潤(rùn)同比下滑較多的主要原因?yàn)椋喝蚣呻娐沸袠I(yè)進(jìn)入下行周期，下游終端如智能手機(jī)、電腦等消費(fèi)電子需求疲軟，供應(yīng)鏈持續(xù)調(diào)整庫存。

據(jù)悉，瑞紅蘇州在今年2月16日正式登陸新三板。公司的i線光刻膠產(chǎn)品規(guī)模化向中芯國(guó)際、合肥長(zhǎng)鑫、華虹半導(dǎo)體、晶合集成等國(guó)內(nèi)知名半導(dǎo)體企業(yè)供貨；KrF高端光刻膠部分品種已量產(chǎn)；ArF高端光刻膠研發(fā)工作正進(jìn)行中。截止報(bào)告期末公司擁有30項(xiàng)國(guó)內(nèi)專利，其中發(fā)明專利19項(xiàng)。

今年4月，徐州博康（華懋科技、華為哈勃控股）對(duì)外公布超6億元融資順利完成交割。新資金的注入將助力徐州博康加快推進(jìn)在光刻膠全產(chǎn)業(yè)鏈自主創(chuàng)新技術(shù)的持續(xù)研發(fā)和產(chǎn)能布局，也為進(jìn)一步打造徐州博康平臺(tái)型精細(xì)化工企業(yè)提供了資金保障。

目前，公司有多款高端光刻膠產(chǎn)品分別獲得了國(guó)內(nèi)12寸晶圓廠的相關(guān)訂單，包括ArF-immersion產(chǎn)品及ArF-dry，KrF，I-line等。其中，ArF-immersion產(chǎn)品已經(jīng)適用于45nm-28nm制程。具體分品類來看——

（1）ArF光刻膠有26款產(chǎn)品，9款A(yù)rF-immersion及ArF-dry光刻膠正在客戶端進(jìn)行產(chǎn)品驗(yàn)證導(dǎo)入量產(chǎn)，品種類涵蓋55nm、40nm、28nm及以下的關(guān)鍵層工藝。

（2）KrF光刻膠有30款產(chǎn)品，20余款KrF光刻膠正在客戶端進(jìn)行產(chǎn)品驗(yàn)證導(dǎo)入量產(chǎn)。

（3）I線光刻膠有15款產(chǎn)品，10多款I(lǐng)線光刻膠正在客戶端進(jìn)行產(chǎn)品驗(yàn)證導(dǎo)入量產(chǎn)。

（4）電子束光刻膠有3大種類，為PMMA、PHS和HSQ體系，已為數(shù)十家企業(yè)和高校提供標(biāo)準(zhǔn)化、定制化的電子束光刻膠產(chǎn)品。

報(bào)告期內(nèi)，上海新陽實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入 億元，較去年同期略有增長(zhǎng)；實(shí)現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)為8,681萬元，同比增長(zhǎng)776%。公司半導(dǎo)體行業(yè)實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入 億元，同比增長(zhǎng) %，集成電路制造用關(guān)鍵工藝材料系列產(chǎn)品收入穩(wěn)定增長(zhǎng)。

報(bào)告期內(nèi)，光刻膠系列產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入超百萬元。其中，光刻膠項(xiàng)目研發(fā)進(jìn)展比較順利，I線、KrF光刻膠產(chǎn)品已在超20家客戶端提供樣品進(jìn)行測(cè)試驗(yàn)證。ArF浸沒式光刻膠的研發(fā)進(jìn)展也比較順利，已在國(guó)內(nèi)多家晶圓制造企業(yè)開展測(cè)試驗(yàn)證工作。同時(shí)，原料樹脂的合成方案探索、工藝優(yōu)化、穩(wěn)定性等方面都取得突破。

今年2月，上海新陽發(fā)布公告表示，擬億投建光刻膠等集成電路關(guān)鍵工藝材料項(xiàng)目，預(yù)計(jì)年產(chǎn)500噸I線、KrF、ArF 干/濕法光刻膠等產(chǎn)品。項(xiàng)目擬于2023年取得施工許可證，2025年底前竣工，2026年6月底前投產(chǎn)。

南大光電今年一季度扭轉(zhuǎn)了去年第四季度業(yè)績(jī)下跌的趨勢(shì)；二季度營(yíng)業(yè)收入、凈利潤(rùn)均實(shí)現(xiàn)環(huán)比增長(zhǎng)。今年上半年整體實(shí)現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)15, 萬元，較上年同增長(zhǎng)%。

南大光電表示，公司在光刻膠技術(shù)研發(fā)方面始終堅(jiān)持完全自主化路線?？毓勺庸緦幉洗蠊怆姷墓饪棠z研發(fā)中心具備了研制功能單體、功能樹脂、光敏劑等光刻膠材料的能力，能夠?qū)崿F(xiàn)從光刻膠原材料到光刻膠產(chǎn)品及配套材料的全部自主化。

來源：南大光電

目前研發(fā)的產(chǎn)品已在下游客戶存儲(chǔ)芯片50nm和邏輯芯片55nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)上通過認(rèn)證，多款產(chǎn)品正在主要客戶處認(rèn)證，持續(xù)推動(dòng)光刻膠及配套材料產(chǎn)品的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。

2023年上半年，雅克科技實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入232,萬元，與上年同期相比增長(zhǎng)%；實(shí)現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)為34,萬元，同比增長(zhǎng)%。

報(bào)告期內(nèi)，雅克科技光刻膠業(yè)務(wù)發(fā)展勢(shì)頭強(qiáng)勁，客戶涵蓋包括京東方、華星光電、惠科等國(guó)內(nèi)主要面板制造商，產(chǎn)品銷量和市場(chǎng)占有率不斷得到提升。公司自主研發(fā)的OLED用低溫RGB光刻膠、CMOS傳感器用RGB光刻膠、先進(jìn)封裝RDL層用l-Line光刻膠等產(chǎn)品正按計(jì)劃在客戶端測(cè)試，進(jìn)程順利。

另據(jù)雅克科技5月在投資者互動(dòng)平臺(tái)的回復(fù)顯示：公司的半導(dǎo)體制程光刻膠研發(fā)工作按計(jì)劃推進(jìn)中。此外，新一代電子信息材料國(guó)產(chǎn)化項(xiàng)目-光刻膠及光刻膠配套試劑項(xiàng)目預(yù)計(jì)將于2023年9月達(dá)到可使用狀態(tài)。

2023年上半年，飛凱材料受國(guó)內(nèi)經(jīng)濟(jì)內(nèi)生動(dòng)能不足、市場(chǎng)需求疲弱、電子消費(fèi)降級(jí)等影響，實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入131,萬元，較去年同期比較下降%；實(shí)現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)17,萬元，較去年同期減少%。

報(bào)告期內(nèi)，公司進(jìn)一步拓展了底部抗反射層產(chǎn)品（BARC）的市場(chǎng)，且向市場(chǎng)推出了新一代光引發(fā)劑產(chǎn)品（TMO）。

在光刻膠產(chǎn)品方面，公司I-line光刻膠和248nm光刻膠抗反射層材料已實(shí)現(xiàn)部分客戶量產(chǎn)，將進(jìn)一步提升公司半導(dǎo)體光刻膠的競(jìng)爭(zhēng)力。同時(shí)，公司前期建設(shè)項(xiàng)目5000t/aTFT-LCD光刻膠項(xiàng)目和5500t/a合成新材料項(xiàng)目已向客戶穩(wěn)定供貨。

另據(jù)近期采訪顯示，飛凱材料透露未來將會(huì)把重點(diǎn)放在光刻膠抗反射層及下層材料方向上。